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                                                    當前位置:首頁  >  技術文章  >  探針冷熱臺結合研究級巖相學顯微鏡,輕松獲取試驗參數

                                                    探針冷熱臺結合研究級巖相學顯微鏡,輕松獲取試驗參數

                                                    發布時間:2021-04-23      點擊次數:133
                                                       探針冷熱臺主要應用于半導體行業、光電行業、超導、集成電路等領域,用來測試芯片、氣體傳感器以及封裝器件的測試。旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。
                                                      探針冷熱臺結合研究級巖相學顯微鏡使用,可以直接原位觀察在加溫或冷凍過程中樣品(如:流體包裹體、熔體包裹體)相態的變化,測定相變溫度,進而獲得相關的物理化學參數。
                                                      一般包括供芯片安裝的測試腔組件和設置于測試腔組件上方的顯微鏡。例如半導體傳感器在生產和研制過程中,需要對芯片進行檢驗和測試,半導體傳感器外形是多樣的,直徑規格有多種,在測試過程中需要配合顯微鏡來對位探針到測試觸點來測試電化學信號以及觀察芯片表面物理現象(拉曼效應)進行觀察。
                                                      例如內含半導體傳感器的氣體傳感器,可以感應檢測周圍易燃易爆或有氣體的泄露濃度,對該氣體傳感器進行測試時,需要對測試腔組件中進行填充不同濃度的相應氣體。針對不同的測試要求,可能還需要不同溫度的測試環境以及不同真空度的測試環境等等,而現有的探針臺功能單一,通用性差,導致使用不方便。
                                                      探針冷熱臺注意事項
                                                      (1) 連接過程保持在不通電源的情況下,最后再倒通電源。
                                                      (2) 注意水泵始終浸沒于水中,定期更換水,防止因為循環冷卻導致水溫過高而影響冷卻效果。
                                                      (3) 在調試過程中,用過的石英玻璃片要及時清洗,防止因樣品殘留而導致的溫度調節誤差。
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